多年来，真空炉热区的热区隔热设计有多种变化，包括以下配置和材料。本文将总结这些设计在真空和电源效率方面的性能结果:
•答:石墨箔贴面，背面有2英寸-3英寸的Kaowool隔热层。
•乙:石墨箔贴面，背面为2英寸PAN石墨毡。
•丙:石墨箔贴面，背面为2英寸人造石墨毡。
•d:带箔面的标准石墨板（2英寸）。
• e:新GMI石墨板（2英寸），带箔面【1】。
•女:全金属（3个钼，2个不锈钢护罩）。
• g:全金属（5个钼罩）。
真空炉热区的隔热和选择取决于几个因素，包括:
• 1:理想的极限真空度。
• 2:最高加工温度。
• 3:总热效率和功率损耗。
• 4:总周期时间。
• 5:零件表面污染最小。
单独分析上述因素，可总结如下:
1期望的最终真空度
许多过程只需要所谓的“低真空”，操作水平在毫米汞柱或10毫米汞柱范围内-3到10-4托范围。这通常可以通过任何隔热热区设计来实现。（e）的热区材料很容易满足这一要求。
其他工艺需要超净环境，真空度为10-5托范围或更高。这些过程可以在（b）至（e）热区中进行。
要求真空度为10的过程-6Torr或更高通常需要全金属热区设计（f）和（g），以达到所需的真空度并产生超净工作。
2最高加工温度
表1显示了每种热区配置通常可达到的相对最高工作温度。
尽管一些热区经常被加热到正常工作温度以上，但这些温度是推荐的正常加工温度。
图1说明了几件事。其中包括:
• 答:人造石墨毡比聚丙烯腈石墨毡更有效。
• 乙:GMI板材料【1】比任何其他绝缘或屏蔽组合都更有效。随着温度的升高，这种板材的效率也会提高。
• 丙:全金属热区效率最低。
表3显示了HFL-3648熔炉在2000华氏度时的预计相对功率损耗和炉壁密度。该熔炉的工作热区尺寸为36英寸宽x 36英寸高x 48英寸深
2024年1月30日
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