2023年12月19日-德国纽伦堡EtherCAT技术集团(ETG)最近召开了其半导体技术工作组(Semi TWG)的第24次会议,批准了四个附加的profile规范。EtherCAT于2007年被接受为SEMI标准,ETG于2011年成立了半导体TWG,以进一步开发半导体行业的工业以太网系统标准。
在最近的Semi TWG会议(虚拟会议)上,集团成功组建了几个任务小组,包括以下各种类型:
- 液体流量控制器
- 用于晶片处理室的温度传感器
- 电压和电流频率分析传感器
- 特殊过程控制阀
在这次会议上,工作组还成立了一个新的工作组,旨在开发光发射光谱(OES)的设备概况。该配置文件将显著受益于EtherCAT协议的高效带宽利用:每个通信周期必须向控制器传输多达500字节的循环原始数据。面向半导体行业的EtherCAT设备配置文件系列目前共有24种官方规格。
EtherCAT的持续发展至关重要,尤其是在半导体等高科技、不断发展的行业。虽然基本技术(即通信的“方式”)保持不变,但设备特性定义了特定行业设备的“内容”,如质量流量控制器、高真空泵、等离子体和高频发生器。
为了实现这一目标,半导体TWG每年举行两次为期数天的会议。自疫情以来,会议在硅谷和网上交替举行,多达80名专家定期出席。其中包括技术供应商、半导体机器制造商和芯片制造商。该工作组覆盖整个半导体供应链,并确保制定的规格符合供应商及其客户的要求。
Semi TWG专家将于2024年5月在硅谷举行的25周年纪念会议上再次会面。两个行业巨头应用材料公司和林氏研究公司将主持该工作组。定期面对面的接触有助于保持多年来半TWG特有的信任与合作。
关于以太猫科技集团(ETG)
EtherCAT技术小组是一个组织,其中来自各行业的主要用户公司和领先的自动化供应商联手支持、推广和推进EtherCAT技术。EtherCAT技术集团拥有来自73个国家的7,300多名成员,是世界上最大的现场总线组织。它成立于2003年11月,也是发展最快的现场总线组织。