D20 EME 利用电击穿放电来加工导电材料以去除材料

描述

D20 EME

D20 EME 是一种利用电击穿放电来加工导电材料以去除材料的工艺。工作电极由金属材料制成，在其上施加高压脉冲。工作电极靠近待加工材料，将其浸入介电液中。使用微电火花加工可以制造的最小尺寸特征取决于工作电极的尺寸及其固定方式，但使用这种方法可以制造出小至数十微米的孔。微细电火花加工的一个问题是它是一个缓慢的串行过程。

D20 EME可以在非常短的光脉冲中产生大量能量，并将该能量引导到材料的选定区域以进行微加工。目前用于微加工的多种类型的激光器包括：CO2、YAG、准分子等。每种激光器都有其独特的特性和功能，适合特定的应用。决定用于特定应用的激光器类型的因素包括激光波长、能量、功率以及时间和空间模式；材料种类; 特征尺寸和公差；处理速度; 和成本。CO2 和 Nd:YAG 激光器的作用本质上是一个热过程，其中聚焦光学器件用于将预定的能量/功率密度引导到工件上明确的位置，以熔化或汽化材料。